Giới thiệu vòi phun siêu âm tán xạ

 

Vòi phun tán xạ sử dụng không khí/khí áp suất thấp để tạo ra các mẫu phun đồng đều, rộng, với mỗi vòi có khả năng lên tới 9,8 inch (25 cm), tùy thuộc vào khoảng cách từ chất nền. Tốc độ của luồng không khí có thể kiểm soát được để cho phép tác động thấp hoặc cao của phun nguyên tử lên sản phẩm hoặc chất nền. Nhiều vòi phun được kết nối trong loạt có thể đạt được chiều rộng vô hạn. Thiết kế vòi phun tán xạ được sử dụng cho các mẫu rộng có thể lặp lại cao trong các vòi phun mảnh.

Vòi phun siêu âm loại tán xạ là một vòi phun siêu âm với một bình xịt hình nón lốc xoáy. Nó sử dụng công nghệ vòi phun nguyên tử siêu âm và thông qua thiết kế kênh dòng xoáy đặc biệt, khí mang được chuyển thành luồng không khí xoay đồng đều, do đó quá trình siêu âm của sương mù chất lỏng được phân tán dưới dạng bình xịt lốc xoáy, mở rộng thuốc xịt thuốc xịt khu vực của bộ nguyên tử. Vòi phun siêu âm cũng có thể được phun trên bề mặt thẳng đứng hoặc cong và các chất nền góc khác.

Ứng dụng điển hình của các vòi phun siêu âm tán xạ là lớp phủ quang học trên chip bán dẫn, trong đó chất quang học được phun vào các chip bán dẫn. Do sự tán xạ xoay của sương mù phát ra từ vòi siêu âm phân tán, một màng quang học đồng đều có thể được hình thành không chỉ trên mặt phẳng wafer, mà còn trên các bên và góc của cấu trúc vi mô wafer. Ngoài ra, vòi phun siêu âm loại tán xạ cũng có thể được sử dụng cho lớp phủ pin mặt trời màng mỏng, lớp phủ tế bào mặt trời canxi titanate, truyền AR và lớp phủ màng phản chiếu, lớp phủ màng cách nhiệt, lớp phủ lớp phủ siêu thấm, lớp phủ thông lượng PCB và các ứng dụng khác.

 

 

Nguyên tắc:

 

Vòi phun siêu âm chuyển đổi sóng âm tần số cao thành năng lượng cơ học thông qua đầu dò áp điện, sau đó chuyển đổi năng lượng cơ học thành chất lỏng. Rung theo chiều dọc và hướng xuống theo chiều dọc này tạo ra sóng đứng trong màng chất lỏng ở đầu vòi siêu âm, trong đó biên độ của các sóng này có thể được điều khiển bởi một máy phát điện. Các sóng chất lỏng đứng yên này có thể mở rộng lên trên từ đỉnh của vòi phun siêu âm và khi các giọt rời khỏi bề mặt nguyên tử của vòi phun, chúng được phân hủy thành một sương mù mịn của các giọt có kích thước micromet.

Không giống như vòi phun áp suất, vòi phun siêu âm không sử dụng áp suất cao để buộc chất lỏng qua một lỗ nhỏ để tạo ra thuốc xịt. Chất lỏng đi qua một trung tâm vòi phun tương đối lớn mà không có áp lực và được nguyên tử hóa bởi rung động siêu âm bên trong vòi phun.

Mỗi vòi phun siêu âm hoạt động ở một tần số cộng hưởng cụ thể, xác định kích thước trung bình của giọt nước. Sự khác biệt về kích thước giọt là rất nhỏ và phân phối của nó có thể được dự đoán chính xác trong một phạm vi nhất định thông qua các tính toán toán học. Ví dụ, vòi phun 120 kHz tạo ra kích thước giọt trung bình là 18 micron khi phun nước. Tần số càng cao, giá trị trung bình giảm càng nhỏ.

 

 

Lợi thế:

 

1.

2. Coating uniformity:>95% tính đồng nhất

3. Lưu nguyên liệu thô: Tỷ lệ sử dụng của nguyên liệu là hơn 85%, gấp bốn lần so với hai lần phun chất lỏng truyền thống

4. Kiểm soát độ chính xác cao của độ dày lớp phủ: 20nm đến hàng chục micromet của lớp phủ có thể được chuẩn bị, với sự kiểm soát chính xác độ dày lớp phủ

5. Các hạt nguyên tử tốt

6. Các hạt nguyên tử đồng đều

7. Có thể được phun liên tục hoặc liên tục

8. Dòng phun cực thấp

9. Sẽ không chặn vòi phun

10. Vòi chống ăn mòn

11. Phun có thể kiểm soát độ chính xác cao